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曹縣喜德機械設(shè)備有限公司
Cao xian Xide Machinery Equipment Co., Ltd
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    發(fā)布時間:2024-07-10 10:28:26
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    涂膠機設(shè)備是半導體制造工藝中光刻工序的關(guān)鍵設(shè)備之一,主要用于在晶圓表面涂覆光刻膠。這一過程是半導體集成電路制造的核心環(huán)節(jié),直接影響到后續(xù)曝光、顯影以及圖形轉(zhuǎn)移的質(zhì)量與精度。


    在光刻工藝中,涂膠機的作用至關(guān)重要。其工作原理通常涉及機械手或其他搬運機制將晶圓置于設(shè)備中,通過旋轉(zhuǎn)或噴射等方式,均勻地將光刻膠涂布在晶圓的表面。涂膠機的技術(shù)參數(shù),如涂膠速度、均勻性、膠量控制等,都會影響到光刻工序的效果。

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